[实用新型]高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器有效
| 申请号： | 202021923992.2 | 申请日： | 2020-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN214097787U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 东尚清 | 申请（专利权）人： | 上海大芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01S17/48 | 分类号： | G01S17/48;H01L27/146 |
| 代理公司： | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人： | 赵祖祥 |
| 地址： | 200131 上海市浦东新区中国*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出了一种高分辨率距离传感器像素结构及距离传感器，像素结构为后照式结构，在像素结构正面，处理电路围绕在多个单光子雪崩电路结构外围，相邻的单光子雪崩电路结构顶部之间由浅隔离层隔离，浅隔离层隔离处理电路与单光子雪崩电路结构；在像素组结构背面，相邻的单光子雪崩电路结构底部之间及外围由所述深隔离层隔离；同一像素组内单光子雪崩电路结构共用一DNW或DPW。将多个SPAD组成一像素组，同一像素组内的多个SPAD共用一个DNW或DPW，并且共用外围的处理电路，结构紧凑，面积可大幅缩小，且无需太多面积和空间满足DNW或DPW的设计规则，便于将像素间距缩小，从而实现像素阵列的高分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 距离 传感器 像素 结构 | ||
【主权项】：
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