[实用新型]防污抗沾黏保护镀膜有效
| 申请号： | 202021928717.X | 申请日： | 2020-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN213266700U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 吴宗丰;刘金勋;李文亮;胡智恺;陈基川 | 申请（专利权）人： | 翔名科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/00 | 分类号： | C23C28/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种防污抗沾黏保护镀膜，其结构包括：一接口层、一反射层、复数个第一覆层、以及复数个第二覆层。本实用新型之防污抗沾黏保护镀膜具有良好防污以及抗沾黏能力，是以能够被应用在光电及半导体产业的黄光曝光制程的光罩传送盒中，例如：深紫外(DUV)曝光制程、极紫外(EUV)曝光制程、沉浸式曝光制程、多重曝光制程，该防污抗沾黏保护镀膜用于保护上述任一种黄光曝光应用之光罩传送盒并确保黄光制程之良率。 | ||
| 搜索关键词： | 防污 抗沾黏 保护 镀膜 | ||
【主权项】：
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