[实用新型]一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板

摘要

本实用新型公开了一种用于多晶熔铸炉的石墨坩埚盖板，其包括上盖板、下盖板以及若干侧压块，上盖板上设进气孔，下盖板上设置有多个环形凸起，所述多个环形凸起中的最外侧环形凸起为完整的环形凸起，而最外侧环形凸起内侧的其他环形凸起上均匀设置有若干将环形凸起打断的横向连通孔；环形凸起之间以及环形凸起外侧对应的下盖板面上均匀成型有气孔；所述侧压块在外侧对上盖板、下盖板进行相对位置固定，且上盖板和下盖板通过侧压块固定后的板间间距大于等于环形凸起的高度，并在所述侧压块底部设置有用于卡装石墨侧护板的U型卡槽。本实用新型的石墨坩埚盖板具有较佳的结构稳定性，能够降低硅锭中碳杂质的引入，提高硅片转换效率。