[实用新型]一种化学气相沉积炉

摘要

本实用新型属于热处理设备技术领域，公开一种化学气相沉积炉。包括炉壳，炉壳内腔中部位置上下贯穿设置有刚玉管，刚玉管的上下两端分别延伸出炉壳，刚玉管的上端为出气口，刚玉管的下端内部固定套设有气体分散器；炉壳内围绕刚玉管外周一圈串联设有若干个均匀分布的加热棒，串联后的加热棒引出一条电源线至炉壳外；炉壳内加热棒外周设有保温罩，保温罩底面固定在炉壳底壁上，保温罩四周侧壁与加热棒之间间隔有距离，保温罩四周侧壁与炉壳之间设置有隔热填充物。本实用新型炉内气体流动均匀，减少沉积区的热量散失，沉积效率高。