[实用新型]一种晶圆清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种晶圆清洗设备，包括箱体，所述箱体的正面固定连接有缓冲箱，所述箱体的背面固定连接有操作箱。本实用新型通过箱体、缓冲箱、操作箱、电机、U型轴、传动杆、活动座、第一移动杆、第一挡板、筛框、第二挡板、第二移动杆、移动板、滑轮、支撑板、水箱、抽水管、水泵、出水管、喷水管、进水管、排水管、凹槽、过滤板、通孔、滑槽、滑块、弹簧和喷头的设置，达到了清洗效果好且具备水循环功能的优点，解决了现有的清洗设备清洗效果差且不具备水循环功能的问题，当人们使用清洗设备时，可以有效的对晶圆原料进行清洗，不会导致晶圆原料清洗不彻底，不影响晶圆生产的质量，且清洗后的水能重复利用。