[实用新型]一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置有效
| 申请号： | 202021976050.0 | 申请日： | 2020-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN213022245U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 潘大伟 | 申请（专利权）人： | 上海矽锐电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201315 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于离线校准尼康i8光刻机激光器光轴的装置，它涉及激光器校准技术领域。前定位块作为激光器的前端定位挡板，放置在装置整体的前侧，后定位块作为激光器的后端定位挡板，放置在装置整体的后侧，前定位块、后定位块的侧边分别放置有一个侧边定位块，作为激光器的侧边位置定位挡板，前定位块、侧边定位块、后定位块的表面均设置有放置激光器的承载平面台，前定位块、侧边定位块、后定位块的底部均设置有连接面，前定位块与侧边定位块的中部前方靠近光源的一端设置有近点小孔标记、远离光源的一端设置有远点小孔标记。本实用新型校准操作简便且耗时短，可直观地观察光线的变化，且不占用生产设备的时间，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 离线 校准 尼康 i8 光刻 激光器 光轴 装置 | ||
【主权项】：
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