[实用新型]坩埚组件有效
| 申请号： | 202021976408.X | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN214060709U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 黄末;陈翼;刘奇;高海棠;刘林艳 | 申请（专利权）人： | 徐州鑫晶半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 肖阳 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种坩埚组件，包括第一坩埚、第二坩埚和第三坩埚，第一坩埚内限定出盛放空间，第二坩埚设在盛放空间内且与第一坩埚共同限定出第一腔室，第三坩埚设在第二坩埚内且与第二坩埚共同限定出第二腔室，第三坩埚内限定出第三腔室。其中，第二坩埚上形成有第一连通孔以连通第一腔室和第二腔室，第一连通孔形成在第二坩埚的底部且邻近第二坩埚的R角设置，第三坩埚上形成有第二连通孔以连通第二腔室和第三腔室，第一腔室适于构造成下料区，第三腔室适于构造成晶体生长区。根据本实用新型的坩埚组件，有利于提升熔汤的均匀性，避免出现杂质击中，且便于保证生产稳定，具有良好的成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 组件 | ||
【主权项】：
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