[实用新型]一种用于半导体加工的上板机有效
| 申请号： | 202021979385.8 | 申请日： | 2020-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN212952641U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 曾庆恒;温永亮;曾庆朋 | 申请（专利权）人： | 广州华创精密科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G25/08 | 分类号： | B65G25/08;B65G47/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 511300 广东省广州市增城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及半导体加工的技术领域，针对传统的用于半导体加工的上板机的上料架容易卡在机架的入料口的问题，提供了一种用于半导体加工的上板机，包括机架、上料架、入料传送带、升降组件、推板组件以及出料传送带，机架靠近入料传送带的一侧设置有入料口，入料传送带两侧设置有支撑座，支撑座相互正对，支撑座转动连接有滚柱，滚柱的长度方向垂直于地面，滚柱上设置有柔性件，入料传送带两侧滚柱的间距可调节，入料传送带的两侧设置有导向板，导向板朝向入料口倾斜设置，且入料传送带两侧的导向板的间距由远离入料口一侧向靠近入料口一侧逐渐减小。本申请具有使用于半导体加工的上板机的上料架不容易卡在机架的入料口效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 半导体 加工 板机 | ||
【主权项】：
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