[实用新型]一种具备清洁功能的PVD镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种具备清洁功能的PVD镀膜装置，包括箱体，所述箱体左侧的底部固定连接有真空泵，所述真空泵的抽气管与箱体连通，所述箱体内腔的底部通过连接块固定连接有下电极板，所述箱体内腔的顶部通过连接块固定连接有上电极板。本实用新型通过设置双向螺纹杆、螺纹块、电动伸缩杆、吸尘头、转轮、皮带、电机、导管、电磁阀、风机、过滤箱、第一滤板、第二滤板和控制器的配合使用，具备便于清洁的优点，解决了现有的PVD镀膜装置不具备清洁功能，不能在镀膜前对工件清新清洁，需要用到指定的清洁机器进行清洁，在两个装置转运的过程中消耗大量时间，增加工作人员工作量，降低镀膜效率的问题。