[实用新型]一种用于真空镀膜机的高压阀

摘要

本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的高压阀，包括阀壳，气缸，阀板与气缸安装组件，阀壳呈方形，阀壳相对的两个侧壁上设置有进气孔与气缸安装孔，气缸安装组件包括密封座、过渡法兰、密封压套与空心螺钉，过渡法兰通过螺栓安装在气缸安装孔上，密封座一端设置有凸起，凸起是中空的，凸起贯穿过渡法兰与气缸安装孔抵接，气缸安装在密封座上，空心螺钉安装在气缸安装孔上，气缸的活动杆依次贯穿凸起及空心螺钉与阀板一端活动连接，阀板另一端活动抵接在进气孔上，密封压套套设在活动杆上并与凸起内壁抵接，空心螺钉与密封压套抵接。本实用新型提高气缸与阀壳之间气密性，防止外界的空气从气缸的活动杆处进入阀壳内，导致阀壳内部真空度不达标。