[实用新型]一种热处理装置有效
| 申请号： | 202022001994.2 | 申请日： | 2020-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN213147406U | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 马兰 | 申请（专利权）人： | 量伙半导体设备（上海）有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D99/00;F27D9/00;F27D21/00;H01L21/324 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 刘亭 |
| 地址： | 201302 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种热处理装置，包括第一加热腔室、第二加热腔室、加热装置和固定装置，第一加热腔室包括上腔室和下腔室，加热装置包括上加热装置和下加热装置，上加热装置位于上腔室，下加热装置位于下腔室；第二加热腔室位于上腔室和下腔室之间；上腔室和下腔室的侧壁分别设有至少一组固定孔，加热装置设置于固定孔中，加热装置的末端从固定孔中伸出，并延伸至固定装置的外部；固定装置连接于第一加热腔室的外壁，用于将加热装置固定在固定孔内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热处理 装置 | ||
【主权项】：
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