[实用新型]一种沟齿边缘倒角的硅舟

摘要

本实用新型为了克服现有技术中高温环境下，与沟齿边缘接触的硅片易产生划伤现象的技术问题，提供一种沟齿边缘倒角的硅舟，包括天板、法兰和沟棒，沟棒设置在天板和法兰之间，沟棒一端与天板相连，沟棒的另一端与法兰相连，沟棒包括本体和沟齿，沟齿的数目为若干个且沿本体的长度方向间隔排布，沟齿靠近天板的端面上设有接触凸台，接触凸台靠近沟齿远离本体的一端，所述接触凸台的外缘设有倒角。本申请所述硅舟结构可减小硅片与沟齿的接触面积，降低硅片接触错位和背面划伤等问题的发生概率，同时可避免沟齿边缘位置划伤硅片。