[实用新型]一种真空腔体超低温水汽吸附系统有效
| 申请号： | 202022033400.6 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN213570711U | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 吴煜明 | 申请（专利权）人： | 柏霆（苏州）光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56;B01D53/26;B01D5/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种真空腔体超低温水汽吸附系统，包括溅镀线体和吸附组件，所述溅镀线体根据溅镀工艺，依次设置腔体闸门、粗抽腔体、高真空腔体、进料缓冲腔体、转接腔体、镀区腔体和出料缓冲腔体；所述吸附组件包括冷媒入口端、冷媒出口端、高真空段冷媒管和溅镀段冷媒管；采用本实用新型，高真空腔体中的高真空冷媒管进行初步吸附，再配合多腔体延伸溅镀段冷媒管的高效吸附水气，实现双重回流管路，同一冷媒源，实现高效利用，提高水气吸附效率；冷媒出入口的位置优化，也进一步的提高优先吸附能力，保证溅镀腔体内部的正常运作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空腔 超低温 水汽 吸附 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于柏霆（苏州）光电科技有限公司，未经柏霆（苏州）光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022033400.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种一次性使用流产包
- 下一篇：介质传输通道、金融机及介质传输自助机
- 同类专利
- 专利分类
