[实用新型]一种异形籽晶及高质量氮化铝晶体有效
| 申请号： | 202022036241.5 | 申请日： | 2020-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN213172684U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 吴亮;王琦琨;雷丹;李哲;朱如忠;黄嘉丽;付丹扬;张刚 | 申请（专利权）人： | 奥趋光电技术（杭州）有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B23/02 |
| 代理公司： | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人： | 李学红 |
| 地址： | 311100 浙江省杭州市余杭区余*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种异形籽晶，用于悬挂于籽晶架上进行氮化铝晶体的外延生长，包括底端悬挂部、中间衔接部和顶端外延部，当其悬挂于籽晶架上时，所述底端悬挂部的下表面完全覆盖籽晶架的内孔，所述顶端外延部位于籽晶架下方，并通过位于籽晶架内孔中的中间衔接部连接底端悬挂部，所述顶端外延部的顶面为氮化铝晶体生长表面。本实用新型的异形籽晶使用时表面低于坩埚顶面形成悬空状态，避免了籽晶周边的多晶寄生而引起大量缺陷，同时解决了传统化学粘结固定籽晶的方法带来易掉落、气孔反窜进入晶体产生空洞等问题，有利于提高氮化铝晶体的外延生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 异形 籽晶 质量 氮化 晶体 | ||
【主权项】：
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