[实用新型]一种实现自动翻面的行星样品台有效
| 申请号： | 202022036259.5 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN212505052U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 金炯;杨林;王福清 | 申请（专利权）人： | 浙江赛威科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京沁优知识产权代理有限公司 11684 | 代理人： | 王丽君 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市德*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开了一种实现自动翻面的行星样品台，其技术方案要点是包括支架，支架内设置有加热区域，加热区域包括中心转轴和若干个加热部，中心转轴两端分别开设有U型槽，将基片放置在加热部上，通过加热盘对基片进行加热，并且通过第一升降组件可以调整加热区域与加热盘之间的距离，进而控制加热温度，通过第二升降组件带动旋转轴的上下移动，使得U型块与U型槽相嵌或脱离，在旋转组件的带动下，使得中心转轴的转动，无需将电机设置在加热区域，即可实现加热部的周向移动，并且通过翻转机构，可以实现加热区域的翻转，使得对基片的加热更加的均匀，又避免了对于基片双面镀膜情况下，需要停止镀膜的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 实现 自动 行星 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江赛威科光电科技有限公司，未经浙江赛威科光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022036259.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种方便承托使用的铝箔餐盒
- 下一篇：对花立体口罩机
- 同类专利
- 专利分类
