[实用新型]一种用于真空蒸发设备的散热装置有效

专利信息
申请号: 202022042677.5 申请日: 2020-09-17
公开(公告)号: CN213327803U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 李长栋;魏承亚;魏俊杰 申请(专利权)人: 山东沐东真空科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/52
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 252000 山东省聊城市*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 实用新型公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置,包括底座和散热壳体,所述底座的上表面固定安装有散热壳体,所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片,所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇,所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管,所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温,通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热,通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温,通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率,避免真空腔体内部温度过高,导致真空腔体内部的机械结构发生形变,进一步提高产品质量。
搜索关键词: 一种 用于 真空 蒸发 设备 散热 装置
【主权项】:
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