[实用新型]一种晶体生长炉有效
申请号: | 202022050304.2 | 申请日: | 2020-09-17 |
公开(公告)号: | CN213388971U | 公开(公告)日: | 2021-06-08 |
发明(设计)人: | 李帅;宋金鑫;丁峰;刘先哲;郑荣庆;高立志;刘伟 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B28/12;C30B29/36 |
代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 冯妙娜 |
地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种晶体生长炉,包括炉体,所述炉体外依次设置有水冷层和隔热防震层,所述隔热防震层内填充有气凝胶颗粒,所述隔热防震层外侧设置有感应加热线圈,所述炉体的两端分别安装有上盖和下盖。通过在炉体水冷层外设置有隔热防震层,隔热防震层内的气凝胶颗粒具有隔热、防弹高弹性、高孔隙率和防振等特性,炉体中使用气凝胶颗粒作为填充层,可以很好的起到隔热的作用,杜绝炉体内外热量的交换,保证炉体内外环境的稳定性,同时气凝胶颗粒的高孔隙率,可以有效避免外界振动对腔体内的影响,保证晶体生长始终处于一个稳定的环境下进行,保证了晶体生长的稳定性。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 | ||
【主权项】:
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