[实用新型]一种石英舟有效
申请号: | 202022056265.7 | 申请日: | 2020-09-18 |
公开(公告)号: | CN212848336U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 费正洪 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 215129 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池生产技术领域,具体公开一种石英舟。该石英舟包括上槽棒、下槽棒和相对设置的两个侧板,上槽棒的两端分别连接两个侧板,上槽棒的内侧沿其长度方向间隔设置有多个第一凸起,相邻两个第一凸起之间形成第一卡槽,第一凸起的截面形状为第一梯形结构,相邻两个第一凸起的顶部间隔第一预设距离,下槽棒的两端分别连接两个侧板并与上槽棒相对设置,下槽棒的内侧沿其长度方向间隔设置有多个第二凸起,相邻两个第二凸起之间形成第二卡槽,第二凸起的截面形状为第二梯形结构,相邻两个第二凸起的顶部间隔第二预设距离。该石英舟能够适应对多种不同尺寸的硅片的承载,通用性较强,且加工成本较低。 | ||
搜索关键词: | 一种 石英 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造