[实用新型]一种低温低压化学气相沉积反应腔

摘要

本实用新型公开了一种低温低压化学气相沉积反应腔，包括顶盖、固定底板和主体槽，所述主体槽的顶端设置有顶盖，所述主体槽的底端安装有固定底板，所述第一反应腔与第二反应腔内部的一侧设置有密封结构。本实用新型通过将工作槽先进行固定，然后将伸缩杆与支撑柱相互连接固定，紧接着把拉伸杆进行拉伸，让伸缩杆先做横向运动，紧接着让滑动块在滑轨的内部做竖向滑动，由于工作槽的内部设置有多个限位块，因此在调节伸缩杆的过程中，可以使得伸缩杆的末端从限位块的夹缝中脱离，以至于让伸缩杆的纵向距离发生改变，从而使得整体的竖向距离可以进行伸缩调节，提高了该装置整体的适用性，使其可以适用于大多数的工作环境。