[实用新型]光刻胶过滤芯的储存装置

摘要

本实用新型公开一种光刻胶过滤芯的储存装置，包括过滤芯组件、存储液通入组件及废液收集组件，所述过滤芯组件包括囊式过滤芯、排气球阀、进液球阀和出液球阀，所述囊式过滤芯上开设有排气口、进液口和出液口，所述排气球阀罩设于所述排气口上，所述进液球阀罩设于所述进液口上，所述出液球阀罩设于所述出液口上。本实用新型为一种光刻胶过滤芯的储存装置，可以暂时存储光刻胶囊式过滤芯，并且将囊式过滤芯与滤芯液存储桶连通，使得滤芯液可以充满整个过滤芯，保证了过滤芯的过滤功能，在下一次需要使用时方便取出，而不需要每次都更换新的滤芯，降低了成本损耗，提高了产品的竞争力。