[实用新型]一种真空镀膜的自转式工架机构有效
| 申请号： | 202022074342.1 | 申请日： | 2020-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN213113490U | 公开（公告）日： | 2021-05-04 |
| 发明（设计）人： | 卢林松 | 申请（专利权）人： | 苏州双石真空镀膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C16/458 |
| 代理公司： | 苏州欣达共创专利代理事务所(普通合伙) 32405 | 代理人： | 刘盼盼 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜的自转式工架机构，包括：自转工件架、从动齿圈、公转盘、行星轮一、行星轮二以及太阳轮，所述从动齿轮盘上表面设有公转盘，所述从动齿轮盘右侧安装有主动齿轮盘，所述公转盘上表面中心处安装有轴承三，所述轴承三内部安装有传动轴，所述传动轴下端通过轴承三安装在从动齿轮盘、公转盘内部，所述传动轴上端设有太阳轮，与现有技术相比，本实用新型具有如下的有益效果：通过设置公转盘和主动齿轮盘，使得工架机构能够发生公转，太阳轮、从动齿圈、行星轮一以及行星轮二设计，使得自转工件架在太阳轮的带动下，公转的同时，还能够自转，提高镀膜的效率和质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 自转 工架 机构 | ||
【主权项】：
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