[实用新型]用于半导体用石英环平面磨削加工的治具有效
申请号: | 202022076888.0 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN213319224U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 舒宇珩;顾曹鑫 | 申请(专利权)人: | 上海菲利华石创科技有限公司 |
主分类号: | B24B7/16 | 分类号: | B24B7/16;B24B7/20;B24B41/06;B24B41/02 |
代理公司: | 上海和华启核知识产权代理有限公司 31339 | 代理人: | 达晓玲 |
地址: | 201801 上海市嘉定区马陆镇*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型属于半导体石英环加工技术领域,具体涉及一种治具。用于半导体用石英环平面磨削加工的治具,包括限位磨床挡块,限位磨床挡块包括外壳和挡块本体;外壳为采用非金属材质制成的外壳,外壳上设有用于容纳挡块本体的通槽,通槽的纵截面为倒T字型结构;挡块本体为采用金属材质制成的挡块本体,挡块本体的底面为平面,挡块本体的表面为磨削面,挡块本体的表面四周设有一圈凹槽,致使挡块本体的纵截面为倒T字型结构;挡块本体嵌设于通槽内,挡块本体的表面与外壳的表面齐平,挡块本体的底面与外壳的底面齐平。本实用新型结构简单,操作便利,用于磨削加工中,能提高效率、降低成本,提高产品的成材率,减少资源浪费。 | ||
搜索关键词: | 用于 半导体 石英 平面 磨削 加工 | ||
【主权项】:
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