[实用新型]一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置有效
申请号: | 202022082110.0 | 申请日: | 2020-09-21 |
公开(公告)号: | CN212337587U | 公开(公告)日: | 2021-01-12 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 常州威图流体科技有限公司 |
主分类号: | F04B43/04 | 分类号: | F04B43/04;F04B53/00 |
代理公司: | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人: | 常莹莹 |
地址: | 213164 江苏省常州市武进区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于流体输送设备技术领域,具体涉及一种压电微泵的错层支承结构及气体控制装置。一种压电微泵的错层支承结构,包括:压电微泵,所述压电微泵包括共振板、压电振子和电极组件,所述共振板和压电振子依次层叠设置,所述压电振子的远离所述共振板的一侧连接有电极组件;支承板,所述共振板的远离压电振子的一侧被所述支承板支承,所述共振板与所述支承板之间存有间隙以形成进气腔,所述支承板对所述压电微泵进行支承和约束。一种气体控制装置包括:一种压电微泵的错层支承结构和壳体。解决了现有技术中的压电微泵需通过周向延伸的连接部连接至外围的支承部上,支承部被层压固定,大大加大了压电泵的体积的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 压电 支承 结构 气体 控制 装置 | ||
【主权项】:
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