[实用新型]一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种用于超高真空溅射镀膜机的高效冷却装置，包括箱体，所述箱体内底部固定连接有四个支撑杆，四个所述支撑杆远离箱体内底部的一端共同固定连接有放置板，所述箱体上设有冷却机构，所述冷却机构包括固定连接在箱体内底部的水箱与水泵，所述箱体内壁固定连接有水冷管与换热器，所述水冷管与换热器连通，所述水箱通过第一连接管与水冷管连通，所述水泵的进水端通过第三连接管与水箱连通。本实用新型取代了传统的冷却方式，能够直接对镀膜机腔体内的空气进行冷却，大大提高了冷却效率，还能够直接对产品本身进行散热，同时还能够加速箱体内的空气流通，进一步提高冷却效率。