[实用新型]一种蓝光纳米环光放大器有效
| 申请号： | 202022091165.8 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN213520698U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 曾丽娜;李林;李再金;杨云帆;乔忠良;李功捷;陈浩;赵志斌;刘国军;曲轶;彭鸿雁 | 申请（专利权）人： | 海南师范大学 |
| 主分类号： | H01S5/187 | 分类号： | H01S5/187;H01S5/343;H01S5/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 571158 *** | 国省代码： | 海南;46 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体光电子技术领域，涉及一种蓝光纳米环光放大器技术方案，该方案包括蓝宝石衬底，缓冲层，底部GaN同质结分布布拉格反射镜层，下势垒层，有源层，电流注入层，上势垒层，顶部GaN同质结分布布拉格反射镜层，欧姆接触层。该方案先采用ICP刻蚀出纳米环基本结构，再利用电化学刻蚀技术继续刻蚀，最终实现一种蓝光纳米环光放大器，能有效减小ICP刻蚀所引入的缺陷。本实用新型之方法易于控制，工艺稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 放大器 | ||
【主权项】：
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