[实用新型]一种用于晶圆切割的进料装置有效
| 申请号： | 202022097017.7 | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN213704058U | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 秦可勇;何彬 | 申请（专利权）人： | 江苏众晶半导体有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D7/00 |
| 代理公司： | 上海塔科专利代理事务所(普通合伙) 31380 | 代理人： | 耿恩华 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于晶圆切割进料技术领域，尤其一种用于晶圆切割的进料装置，包括进料板，所述进料板前侧面开设有横向滑槽，所述切割平台内部下表面中部固定连接有第二气体发生箱，所述第二气体发生箱上方固定连接有第一气体发生箱，所述出气管下端固定连接有第一气体发生箱上表面中部，所述第二气体发生箱左右两侧中部均固定连接有连接管，所述吸气管下端固定连接有连接管，所述滑块左侧面中部固定连接有气动伸缩杆的右端，所述气动伸缩杆左端套接滑动连接有气缸，该用于晶圆切割的进料装置具有晶圆落到切割平台上的过程中会缓慢下降，减小晶圆和切割平台接触时的冲击力，避免了对晶圆造成损伤的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 切割 进料 装置 | ||
【主权项】：
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