[实用新型]转印滚轮的固定式成形系统及离子蚀刻设备有效
| 申请号： | 202022097276.X | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN213172593U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 林刘恭 | 申请（专利权）人： | 光群雷射科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 李佳佳 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种转印滚轮的固定式成形系统及离子蚀刻设备。转印滚轮的固定式成形系统包括：离子蚀刻设备，包含：无尘腔体，形成有相连通的加工件空间及蚀刻器空间；筒型离子蚀刻器，安装于无尘腔体且位于蚀刻器空间内，并且筒型离子蚀刻器具有朝向加工件空间的筒状驱动面；及支撑构件，安装于无尘腔体且对应于加工件空间设置；以及金属转印滚轮，能拆卸地设置于支撑构件且位于加工件空间内，并且筒型离子蚀刻器与金属转印滚轮不会产生相对移动。由此，所述离子蚀刻设备可以在不移动任何构件的条件下，形成有所述转印微结构层，以有效地降低成本且提高良率。 | ||
| 搜索关键词： | 滚轮 固定 成形 系统 离子 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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