[实用新型]转印滚轮的移动式成形系统及离子蚀刻设备

摘要

本实用新型公开一种转印滚轮的移动式成形系统及离子蚀刻设备。转印滚轮的移动式成形系统包括：离子蚀刻设备，包含：无尘腔体，形成有相连通的加工件空间及蚀刻器空间；环型离子蚀刻器，安装于无尘腔体且位于蚀刻器空间内，且具有朝向加工件空间的环状驱动面；支撑构件，安装于无尘腔体且对应于加工件空间设置；及移动机构，安装于无尘腔体；以及金属转印滚轮，能拆卸地设置于支撑构件且位于加工件空间内，并且金属转印滚轮的外表面与环状驱动面呈间隔地相向设置。据此，所述离子蚀刻设备能相对于金属转印滚轮移动，以通过所述环状驱动面来在所述金属转印滚轮的外表面上凹设形成有所述转印微结构层，由此有效地降低成本且提高良率。