[实用新型]一种蒸镀机有效
| 申请号： | 202022109898.X | 申请日： | 2020-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN213013065U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 林志斌;郑沂 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/54;C23C14/12 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 柯玉珊 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及OLED蒸镀设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀机，包括坩埚和疏通装置；所述坩埚设有喷嘴；所述疏通装置包括伸缩机构和加热装置；所述伸缩机构的一端设有探针，所述加热装置为探针加热，所述伸缩机构驱动被加热后的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部。因为疏通装置设有伸缩机构和探针以及加热装置，并通过加热装置为探针加热，并通过伸缩机构控制被加热的探针由坩埚外部穿过所述喷嘴至坩埚内部从而对蒸镀口处聚集的蒸镀源材料进行疏通，且被加热后的探针还可以熔融清理蒸镀口边缘残留的蒸镀源材料，提高疏通效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀机 | ||
【主权项】：
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