[实用新型]一种AMR各向异性磁阻传感器的惠斯通电阻桥修调装置

摘要

一种AMR各向异性磁阻传感器的惠斯通电阻桥修调装置，包括修调模块、电源模块、电压检测模块和激光修调仪，修调模块包括接在惠斯通电阻桥两侧的两个修调单元，修调单元包括多个并联的电阻元件，且最外侧电阻元件宽度比内侧电阻元件宽度大；电源模块提供测试电压，电压检测模块在相同的条件下进行测量获得惠斯通电阻桥两侧的输出电压值U1、U2；激光修调仪根据测量结果对修调模块中的电阻元件进行激光修调，当U1‑U2大于设定范围的最大值时，对连接U2一侧的修调单元中电阻元件进行激光切割；当U1‑U2小于设定范围的最小值时，对连接U1一侧的修调单元中电阻元件进行激光切割，每次切割后继续测量并根据测量结果判断是否继续切割，直到测量结果满足要求。