[实用新型]一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构有效
申请号: | 202022118498.5 | 申请日: | 2020-09-23 |
公开(公告)号: | CN212690825U | 公开(公告)日: | 2021-03-12 |
发明(设计)人: | 鹿慧丰;王海超;仇健 | 申请(专利权)人: | 青岛高测科技股份有限公司 |
主分类号: | F16J15/34 | 分类号: | F16J15/34;F16J15/40;F16J15/16 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 于晶晶 |
地址: | 266114 山东省青*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种直喷式晶硅切片机主轴非接触密封结构,涉及主轴密封的技术领域,其技术方案要点是包括主轴外套,其套设在主轴芯轴外侧,用于对主轴芯轴进行支撑;密封静环一,其固定在主轴外套靠近主轴芯轴端部的一侧,密封静环一上开设有密封静环一供气孔;以及密封动环,其固定在主轴芯轴上;密封动环与密封静环一相互靠近的一侧形成第一气幕间隙,第一气幕间隙与外界连通并且气幕间隙与密封静环一供气孔相互连通,通过高压气体在第一气幕间隙中形成向外吹拂的气幕,使得外界的污染杂质不容易通过气幕间隙进入轴承处。 | ||
搜索关键词: | 一种 直喷 式晶硅 切片机 主轴 接触 密封 结构 | ||
【主权项】:
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