[实用新型]一种用于真空贯穿的柔性装置

摘要

本实用新型公开了一种用于真空贯穿的柔性装置，包括防护筒和设置在防护筒内部的波纹管，波纹管的一侧焊接有法兰，波纹管的另一侧焊接法兰盖，波纹管的通道内穿过有贯穿组件，法兰焊接在防护筒内侧壁，法兰盖焊接在防护筒的外侧端口。整体结构简单，可实现贯穿组件与真空腔体的密封性，保证贯穿组件的独立真空；贯穿组件高温变形时管道的伸缩性，保证贯穿管道微位移的需求；贯穿组件在微位移时的导向性，保证特定技术要求及焊接波纹管的寿命；贯穿组件与真空腔体之间的隔振性能，保证贯穿组件作为光学平台的必要条件；提供了在真空系统中的多种应用，充分体现了小成本大价值的理念。