[实用新型]等离子体气相沉积设备有效
| 申请号： | 202022125134.X | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN213680874U | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 张斌;李王俊 | 申请（专利权）人： | 苏州迈正科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54;C23C16/50 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215200 江苏省苏州市吴江区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种等离子体气相沉积设备，包括至少两个依次密封对接的工艺腔室；任一所述工艺腔室的与相邻工艺腔室对接的侧壁设有开口；相邻两个所述工艺腔室中，其一设有可密封其靠近另一的侧壁的开口的阀门。上述等离子体气相沉积设备，将阀门设于工艺腔室内，故无需在相邻两个工艺腔室之间再设置阀门密封室，即两个工艺腔室可直接密封对接，从而减少相邻两个工艺腔室之间的密封结构，从而减少相邻两个工艺腔室之间的密封失效的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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