[实用新型]一种晶圆片涂布机的涂布装置有效
| 申请号： | 202022126284.2 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN213409192U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 戚孝峰;周鹏程;王哲琦 | 申请（专利权）人： | 争丰半导体科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B05B16/20 | 分类号： | B05B16/20;B05B13/02;B05B13/04;B05B12/32;B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 苏利 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及涂布机的领域，尤其是涉及一种晶圆片涂布机的涂布装置，其包括放置盘，放置盘上设置有用于驱动放置盘转动的驱动装置，放置盘的一侧设置有用于喷水的清洗装置，放置盘的另一侧设置有用于喷溶剂的喷淋装置。本申请具有提高晶圆片的品质的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆片涂布机 装置 | ||
【主权项】：
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