[实用新型]一种粉末镀膜装置

摘要

本实用新型涉及原子层沉积技术领域，尤其是指一种粉末镀膜装置，包括粉末样品真空腔、抽气机构、加热器、物料瓶以及吹气机构，所述抽气机构用于对粉末样品真空腔抽气，所述加热器用于为粉末样品真空腔加热，所述物料瓶用于向粉末样品真空腔内提供镀膜的原料，所述吹气机构与粉末样品真空腔连通并且用于为粉末样品真空腔内提供流动气体。本实用新型提供的一种粉末镀膜装置，通过吹气机构对粉末样品真空腔内吹入流动气体，将粉末吹散，从而防止粉末团聚，进而可以使粉末表面均匀镀膜。