[实用新型]一种新型半导体可靠性测试探针有效
申请号: | 202022147538.9 | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN213689714U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 王睿 | 申请(专利权)人: | 深圳新驱动力科技有限公司 |
主分类号: | G01R1/067 | 分类号: | G01R1/067;G01R31/26 |
代理公司: | 北京成实知识产权代理有限公司 11724 | 代理人: | 陈永虔 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区坂田街道*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型半导体可靠性测试探针,属于半导体检测技术领域,包括顶板,所述顶板底部表面安装有套管,所述套管内壁表面开设有内螺纹,所述套管底部表面设有限位管,所述限位管外壁表面顶部开设有外螺纹,所述限位管右侧壁开设有通孔,所述限位管内腔插接有测试探针主体,所述测试探针主体右侧壁顶部开设有卡槽,所述限位管内腔顶部设有塞块。本实用新型通过套管和限位管相互配合,既能对限位管安装作用,又能方便限位管后期的拆卸维护,并且弹簧,可缓冲测试探针主体在对半导体测试的压力,同时限位螺栓,可起到对测试探针主体限位的作用,使得测试探针主体在一定的范围内上下伸缩,提高了测试探针主体的使用安全。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 半导体 可靠性 测试 探针 | ||
【主权项】:
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