[实用新型]一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构

摘要

本实用新型公开一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，包括底座和连接筒，所述连接筒的上端安装有底座，所述底座的上端设置有真空炉，所述真空炉的上端外壁上设置有冷却水管道，所述冷却水管道的下端外壁穿过真空炉并设置在真空炉的内部，所述真空炉内部的底座上端外壁上设置有真空仓门，所述真空仓门右侧的真空炉内部设置有加热棒，所述底座的上端内部设置有对位板，通过设计一种具有升降功能的ITO废靶提纯铟机构，在提纯铟完成后能够将真空仓门从真空炉内部向上升起，能够很方便地将真空仓门内部的废料完整地取出，且在不使用时能够缩到真空炉的下端，不会在真空炉使用时存在在真空炉的内部对提纯造成影响。