[实用新型]压电式麦克风芯片、麦克风及电子设备有效
申请号: | 202022164665.X | 申请日: | 2020-09-27 |
公开(公告)号: | CN212850998U | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 王友 | 申请(专利权)人: | 潍坊歌尔微电子有限公司 |
主分类号: | H04R17/02 | 分类号: | H04R17/02 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 261000 山东省潍坊市潍坊高新区新*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型公开一种压电式麦克风芯片、麦克风及电子设备,其中,所述压电式麦克风芯片包括基底和压电振膜,所述基底形成有贯通的通孔;所述压电振膜设于所述基底的一表面并覆盖所述通孔,所述压电振膜对应所述通孔的部分弯折形成有凹槽和/或凸起,所述凹槽和/或所述凸起贴近所述通孔开口的内边缘设置。本实用新型技术方案的压电式麦克风芯片可有效增大压电振膜振幅,提高灵敏度。 | ||
搜索关键词: | 压电 麦克风 芯片 电子设备 | ||
【主权项】:
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