[实用新型]一种可调式多光路干涉系统有效
申请号: | 202022170414.2 | 申请日: | 2020-09-28 |
公开(公告)号: | CN212965572U | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 王哲哲;蔡杰毅;郑志强 | 申请(专利权)人: | 福建师范大学 |
主分类号: | G02B7/02 | 分类号: | G02B7/02;G02B7/182 |
代理公司: | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人: | 陈方淮;蔡学俊 |
地址: | 350117 福建省福州市闽侯县上街*** | 国省代码: | 福建;35 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种可调式多光路干涉系统,包括光学平台,所述光学平台上陈设有若干调整支架,通过在不同调整支架上分别安装全反镜及半透镜对光束干涉图案进行调节,所述光学平台设置有激光器,激光器发出光束并经全反镜及半透镜终交汇与样品台上,该可调式多光路干涉系统既具有简单、灵活和高效的优势,又能并灵活调整光束干涉图案。 | ||
搜索关键词: | 一种 调式 多光路 干涉 系统 | ||
【主权项】:
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