[实用新型]一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件有效
申请号: | 202022192837.4 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN213352346U | 公开(公告)日: | 2021-06-04 |
发明(设计)人: | 王永超;赵泽良 | 申请(专利权)人: | 河南东微电子材料有限公司 |
主分类号: | B25H1/06 | 分类号: | B25H1/06;B25B11/00;B25H1/08 |
代理公司: | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人: | 李伟 |
地址: | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于热等静压制备管型靶材的支撑件,包括底座,所述底座上固定连接有固定杆,所述固定杆上固定连接有套筒,且套筒中转动连接有T形固定块,所述T形固定块上开设有凹槽,且凹槽中固定连接有插杆,所述插杆上开设有两个对称设置的滑槽,所述滑槽中滑动连接有滑杆,且滑杆上固定连接有抵块,所述抵块与插杆之间固定连接有多个复位弹簧,所述滑槽中固定连接有与滑杆相配合的电磁片。本实用新型涉及靶材技术领域,通过设置的电磁片和复位弹簧的配合,便于使得抵块快速抵紧管型靶材,保持管型靶材放置的稳固,且转动设置的T形固定块,避免了人工抬动管型靶材进行翻面的劳力损耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 静压 制备 管型靶材 支撑 | ||
【主权项】:
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