[实用新型]底座和多晶开方机构有效
申请号: | 202022193078.3 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN214214325U | 公开(公告)日: | 2021-09-17 |
发明(设计)人: | 欧子杨;白枭龙;尚伟泽;金浩 | 申请(专利权)人: | 晶科能源股份有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/00 |
代理公司: | 上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙) 31260 | 代理人: | 成丽杰 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅晶切割领域,公开了一种底座和多晶开方机构。底座设置于多晶开方机上,包含:可旋转装置,带动单晶圆棒绕单晶圆棒的轴线旋转,单晶圆棒上具有多根平行于单晶圆棒轴线的棱线;检测装置,用于检测单晶圆棒的棱线;主控系统,与可旋转装置和检测装置通讯连接,用于在检测装置检测到棱线后,控制可旋转装置旋转预设角度。当检测装置检测到单晶圆棒的棱线时,可旋转装置即可带动单晶圆棒进行旋转,使得切割单晶圆棒的钢线与单晶圆棒的棱线之间存在预设夹角,钢线从该预设夹角切割后,即可获得理想的最终产物。因此,通过本发明中的底座与多晶开方机的配合,即可使得多晶开方机也能够切割单晶圆棒。 | ||
搜索关键词: | 底座 多晶 开方 机构 | ||
【主权项】:
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