[实用新型]一种高纯钨坯体制备系统有效
申请号: | 202022193448.3 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN213327763U | 公开(公告)日: | 2021-06-01 |
发明(设计)人: | 陈箫箫 | 申请(专利权)人: | 亚芯半导体材料(江苏)有限公司 |
主分类号: | C22B34/36 | 分类号: | C22B34/36;C22B5/12;C01G41/04 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 赵慧 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型属于化工生产技术领域,具体涉及一种高纯钨坯体制备系统,本高纯钨坯体制备系统包括:六氟化钨制备机构和钨坯体制备机构;其中所述六氟化钨制备机构适于从原料中制备出六氟化钨,并投放至所述钨坯体制备机构;以及所述钨坯体制备机构适于从六氟化钨中制备出高纯钨坯体;本实用新型通过制备六氟化钨作为中间产物,存量较少,过程中全部消耗掉,无残留,不涉及运输和长期大量存储,满足安全、无污染工业生产需求,并且生成的钨在钨坯体制备机构中反应容器基底表面不断累积形成一定尺寸的高纯钨坯体,实现了一体化生产的功能,达到了工业化制备高纯钨坯体的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 高纯 体制 系统 | ||
【主权项】:
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