[实用新型]传感装置与电子烟有效
申请号: | 202022196029.5 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN212414754U | 公开(公告)日: | 2021-01-29 |
发明(设计)人: | 吕萍;李刚 | 申请(专利权)人: | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
主分类号: | A24F40/51 | 分类号: | A24F40/51;A24F40/50;A24F40/40 |
代理公司: | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人: | 蔡纯;杨思雨 |
地址: | 215123 江苏省苏州市工业*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本申请公开了一种传感装置与电子烟,该传感装置用于检测气流通道的内部气流,传感装置包括微机电结构,微机电结构包括:振动膜;以及背板,与振动膜相对设置以形成电容,背板具有至少一个通孔,背板与振动膜之间具有间隙,其中,振动膜的第一表面与气流通道的内部连通,振动膜的第二表面经由间隙与外部大气连通,振动膜阻隔气流通道的内部与间隙连通,振动膜在第一表面与第二表面气压差的作用下发生形变,电容的容值变化至少表征气流通道内的气体流速。 | ||
搜索关键词: | 传感 装置 电子 | ||
【主权项】:
暂无信息
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