[实用新型]气控微动平台装置有效
| 申请号： | 202022206273.5 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213512095U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 孔德保;许丽琪 | 申请（专利权）人： | 厚礼博精密仪器（北京）有限公司 |
| 主分类号： | F16K1/00 | 分类号： | F16K1/00;F16K1/32;F16K1/36;F16K1/42;F16K27/02;F16K31/11;F16K37/00 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 李文丽 |
| 地址： | 100012 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及高精度定位及位移控制技术领域，提供了一种气控微动平台装置。该气控微动平台装置，包括比例调节阀和微动平台，比例调节阀包括阀体，阀体设有进气通道、支气通道和出气通道，进气通道通过喷嘴与支气通道连通，支气通道内设有活动铁芯，活动铁芯的第一端设有与喷嘴的出气口相适配的堵头，活动铁芯的第二端与微动平台连接，支气通道与出气通道连通。本实用新型通过向进气通道输送气体，并由喷嘴进入支气通道，实现对活动铁芯气动推动，进而实现对微动平台的位移，气体再由出气通道排出，通过调整进气流量，实现对微动平台位移量的控制，本装置结构简单，体积小，易于操作，采用闭环控制，消除环境因素影响，提高控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 微动 平台 装置 | ||
【主权项】：
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