[实用新型]一种配置酸料纯化装置的混酸系统

摘要

本实用新型公开了一种配置酸料纯化装置的混酸系统，涉及蚀刻液配置技术领域。本实用新型包括氯化氢原料罐、氟化氢原料罐、硝酸原料罐、第一纯化装置、第二纯化装置、热交换器、混合槽和成品罐，氯化氢原料罐、氟化氢原料罐和硝酸原料罐均通过管道与各自的第一纯化装置的进口固定连接。本实用新型通过设置浓缩系统、第一纯化装置和第二纯化装置，生产原料经第一纯化装置和第二纯化装置二次提纯后，可大大降低有机污染物及颗粒的含量，利用此系统配置高精准的蚀刻液配方，可应用于12吋芯片集成电路产品上，通过设置混合槽、循环管和隔膜泵，使得混合槽内物料的混合效率得到提高，且物料能被混合的更加均匀，从而可提高生产质量。