[实用新型]基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计有效
| 申请号： | 202022214876.X | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN213239057U | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 廖荣忠;孙亚林;魏武学;万驹 | 申请（专利权）人： | 迈科洛（广州）仪表有限公司 |
| 主分类号： | G01F1/88 | 分类号： | G01F1/88 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 陈旭红;吴落 |
| 地址： | 510000 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于MEMS芯片的多变量气体质量流量变送器及流量计。该变送器用于与任何一种节流装置、以及通过插在管道中的热电阻并用于采集管道内介质的温度信号的外置温度传感器连接，包括：壳体，以及设置在壳体内用于采集节流装置差压信号的MEMS差压传感器、用于采集管道内介质的压力信号及其所在位置的环境温度信号的MEMS压力传感器、主板和传感器板；MEMS差压传感器、MEMS压力传感器和外置温度传感器分别与传感器板电性连接；主板和传感器板电性连接。本实用新型用于气体微差压/超大差压芯片、压力芯片和温度传感器测量和计算，将多变量信号变送输出，用于解决超大流程比的气体质量测量，具有相当的测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 芯片 多变 气体 质量 流量 变送器 流量计 | ||
【主权项】：
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