[实用新型]一种抗振分子泵有效
申请号: | 202022219959.8 | 申请日: | 2020-09-29 |
公开(公告)号: | CN213235487U | 公开(公告)日: | 2021-05-18 |
发明(设计)人: | 罗守庚;邓高飞;蔺宇;陈琳 | 申请(专利权)人: | 北京中科九微科技有限公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D29/056;F04D29/053;F04D29/66;F04D29/58 |
代理公司: | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人: | 秦广成 |
地址: | 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供的一种抗振分子泵,属于分子泵技术领域,包括:泵体,内部具有贯通的轴孔,轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖;主轴,外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承,通过上径向轴承和下径向轴承转动连接在轴孔内;上径向轴承的顶端通过第一减振垫与第一挡盖抵接,第一减振垫与上径向轴承的顶端之间设有导热弹片;上径向轴承的外圈与泵体之间设有第二减振垫,第二减振垫与导热弹片抵接;下径向轴承的底端通过缓冲组件与第二挡盖抵接,下径向轴承的外圈与泵体之间设有第三减振垫。本实用新型的第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及缓冲组件的设置,增强了分子泵轴向与径向的抗振能力,还增强了主轴及上径向轴承的散热能力。 | ||
搜索关键词: | 一种 分子 | ||
【主权项】:
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