[实用新型]一种抗振分子泵有效

专利信息
申请号: 202022219959.8 申请日: 2020-09-29
公开(公告)号: CN213235487U 公开(公告)日: 2021-05-18
发明(设计)人: 罗守庚;邓高飞;蔺宇;陈琳 申请(专利权)人: 北京中科九微科技有限公司
主分类号: F04D19/04 分类号: F04D19/04;F04D29/056;F04D29/053;F04D29/66;F04D29/58
代理公司: 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 代理人: 秦广成
地址: 101111 北京市大兴区经济技术开发区*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型提供的一种抗振分子泵,属于分子泵技术领域,包括:泵体,内部具有贯通的轴孔,轴孔的两端分别连接有第一挡盖和第二挡盖;主轴,外壁上间隔地套接有上径向轴承和下径向轴承,通过上径向轴承和下径向轴承转动连接在轴孔内;上径向轴承的顶端通过第一减振垫与第一挡盖抵接,第一减振垫与上径向轴承的顶端之间设有导热弹片;上径向轴承的外圈与泵体之间设有第二减振垫,第二减振垫与导热弹片抵接;下径向轴承的底端通过缓冲组件与第二挡盖抵接,下径向轴承的外圈与泵体之间设有第三减振垫。本实用新型的第一减振垫、第二减振垫、第三减振垫以及缓冲组件的设置,增强了分子泵轴向与径向的抗振能力,还增强了主轴及上径向轴承的散热能力。
搜索关键词: 一种 分子
【主权项】:
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