[实用新型]一种用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统有效
申请号: | 202022220865.2 | 申请日: | 2020-09-30 |
公开(公告)号: | CN214020071U | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 陈箫箫 | 申请(专利权)人: | 亚芯半导体材料(江苏)有限公司 |
主分类号: | B01D53/78 | 分类号: | B01D53/78;B01D53/68 |
代理公司: | 常州市权航专利代理有限公司 32280 | 代理人: | 赵慧 |
地址: | 213000 江苏省常州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型具体涉及一种用于高纯钨坯体制备的尾气处理系统,本尾气处理系统包括:尾气接收装置;碱式喷淋装置,用于接收尾气接收装置输出的尾气,并向尾气喷淋碱液,以中和尾气中除氟化氢和相应有害氟化物,生成氟化钙沉淀物;和燃烧装置,连接碱式喷淋装置,用于燃烧经碱式喷淋装置喷淋后尾气中残余氢气,以生成水蒸气高空排放;以及沉淀物回收装置;本实用新型通过将尾气通入碱式喷淋装置,与碱液充分反应后即可完全去除尾气中氟化氢和其他残余有害氟化物,生成不溶于水的氟化钙沉淀物回收利用,尾气中残余的氢气通入燃烧装置,充分燃烧后生成水蒸气,高空排放,实现对有害尾气无污染、安全处理,并且能够满足资源可循环利用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 高纯 体制 尾气 处理 系统 | ||
【主权项】:
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