[实用新型]硅片上料抓取装置

摘要

本实用新型涉及硅片传送设备领域，尤其是硅片上料抓取装置。该抓取装置包括机台、硅片花篮、硅片抬升机构、硅片对齐机构、双移动座线性模组、硅片抓取机构、传感器、花篮移动机构，所述机台上安装有花篮移动机构，花篮移动机构上连接有硅片花篮，机台下方设有硅片抬升机构，机台的台面上设有用于穿过硅片抬升机构的穿孔，机台上安装有硅片对齐机构和双移动座线性模组，双移动座线性模组位于硅片对齐机构上方。本实用新型通过可移动的硅片花篮将硅片移动至抓取工位。通过硅片抬升机构将硅片从花篮中抬出。通过硅片对齐机构将抬出的硅片拍齐。通过硅片抓取机构将拍齐的硅片抓起然后放入其他设备。本申请提高了硅片抓取的效率。