[实用新型]可缓存的硅片运送系统

摘要

本实用新型公开一种可缓存的硅片运送系统，包括安装于机架上的底板、支座、传输电机和对称设置于支座两侧的传输皮带，所述支座安装于底板的上表面上，所述传输电机的输出轴上安装有一主驱动轮，所述支座上转动安装有一第一转轴，此第一转轴的两端分别自支座两侧向外伸出，所述第一转轴上并位于支座两侧分别安装有一第一转轮，所述支座的两侧分别转动安装有若干个第二转轮，两个所述立板的上端面之间通过一顶支撑板连接，一驱动组件与两个立板中的至少一个连接，用于驱动两个立板沿竖直方向同步运动。本实用新型实现了对单片硅片的高效、逐片全自动运送，既提高了自动化程度和加工效率，又可以避免人为损伤硅片，提高加工的效率和质量。